什么是質量流量計?什么質量控制器?
質量流量計(Mass Flow Meter) MFM,是一種測量氣體流量的儀表,測量值是不因為環境壓力和溫度的變化而改變,不需要溫度壓力的補償。質量流量計只是測量不控制。
質量流量控制器(Mass Flow controller) MFC,是一種直接測量氣體的質量流量并且進行流量控制的儀表設備,不因為環境溫度和使用壓力的變化而改變,不但具有測量質量的功能,更重要的它可以自動控制氣體流量,用戶可以根據需要進行流量設定,帶控制閥門,既可以測量也可以控制氣體流量的大小。