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氣體流量計/控制器HFM-205/HFC-207
| HFM-205氣體流量計 | HFC-207氣體流量控制器 | |
| 范圍（用戶可選） | 0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2) | 0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2) |
| 精度 | 滿量程的+ 1.0% | 滿量程的+ 1.0% |
| 重復性 | 滿量程的+ 0.05% | 滿量程的+ 0.05% |
| 最大工作壓力 | 500 PSIG | 500 PSIG |
| 模擬量輸入/輸出 (標準) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模擬量輸入/輸出 (可選) | 4 - 20 mA輸入和輸出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出 | 4 - 20 mA輸入和輸出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出 |
| 接口選項 | VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋 | VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋 |
| 彈性密封選項 | Viton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene | Viton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| 電氣連接 (+/- 15 VDC) 電氣連接 (+24 VDC) | D型15針 D型9針 | D型15針 D型9針 |
| 電源(+/- 15 V) 電源(+24 V) | +(14 - 16) VDC @ + 30 mA (<1 W) (14-32) VDC (<1.9 W) | +(14 - 16) VDC @ + 60 mA / -185 mA (<3 W) (14-32) VDC (<3 W) |
| 濕液材質 | 302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton? | 302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton?, Kalrez? (閥座) |