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氣體流量計/控制器HFM-200/HFC-202

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氣體流量計/控制器HFM-200/HFC-202


HFM-200氣體流量計HFC-202氣體流量控制器
范圍(用戶可選)0 - 10 sccm 至0 - 25 slm (N2)0 - 10 sccm 至 0 - 25 slm (N2)
精度滿量程的+ 1.0%滿量程的+ 1.0%
重復(fù)性+ 0.05% of    full scale+ 0.05% of    full scale
最大工作壓力500 PSIG (可選1000 PSIG)500 PSIG (可選1000 PSIG)
模擬量輸入/輸出 (標(biāo)準(zhǔn))0 - 5 VDC0 - 5 VDC
模擬量輸入/輸出 (可選)4 - 20 mA輸入和輸出,
0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
4 - 20 mA輸入和輸出,
0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
接口選項VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋VCR?, VCO?, Swagelok?,  直螺紋
彈性密封選項Viton?, Kalrez, Buna-N, NeopreneViton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene
電氣連接 (+/- 15 VDC)
     電氣連接 (+24 VDC)
D型15針
     D型9針
D型15針
     D型9針
電源(+/- 15 V)     
電源(+24 V)
+(14 - 16) VDC @ + 30 mA    (<1 W)
     (14-32) VDC (<1.9 W)
+(14 - 16) VDC @ + 60    mA / -185 mA (<3 W)
     (14-32) VDC (<4.2 W)
濕液材質(zhì)316LSS, Viton?, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder302 SS, 316L SS, Nickel, Viton?, 82/18 Au/Ni    Braze, Trace Ag Solder, Kalrez? (閥座)
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